台湾某半导体企业的废水处理工程实例
更新时间:2012-12-20 10:55
来源:中国给水排水
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摘要: 根据半导体工业废水的特点,将其分为无机(氟系)废水、有机废水、酸碱废水三部分,分别采用化学混凝、MBBR反应池、中和等方式进行处理,处理后合流排出。简述了各构筑物的设备配置、设计参数等,该工程采用全过程计算机控制,自动化程度高,处理效果较好。
关键词: 半导体企业废水; 化学混凝; MBBR反应池; 中和
台湾某半导体企业的废水处理工程设计处理规模为1. 4 ×104 m3 /d,总投资为2. 5 亿新台币,于2005年2月开始运行, 2005年5月通过新竹监测站监测验收至今运行良好。
该企业在建厂时充分考虑了废水处理要求,将半导体生产工艺流程中的废水大致分为无机(氟系)废水、有机废水、酸碱废水三部分,分别处理以达到排放标准。
1 设计水质、水量
设计水质、水量见表1。
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