涡轮分子泵 HiPace® 1200-2300
Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 1200-2300
上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1200-2300, 抽速范围 1200-2300 l/s 的全系列紧凑型复合轴承涡轮分子泵, HiPace 1200 - 2300 系列涡轮分子泵可以倒置安装. 对小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
分子泵 HiPace 1200-2300 l/s 产品优点
1. 抽速从 1200-2300 l/s 的全系列产品
2. 安装角度可选 0°-90° 和 90°-180°
3. 分子泵有抗腐蚀性气体型号可选(C型号)
4. 带节流阀和阀门的集成净化气体系统
5. 电压范围 90 - 265 V
6. 获得 SEMI S2, UL, CSA 和 TÜV认证
7. 防护等级 IP54 符合工业环境应用要求
8. 适用于各种严苛工艺如刻蚀，溅镀，分子泵耐粉尘
9. 集成分子泵控制器 TC 1200，可直接连接一般电源
分子泵 HiPace 1200-2300 l/s 技术参数：
|
分子泵型号 |
分子泵连接尺寸 DN |
抽速 l/s |
压缩比 |
最高启动压强hPa |
极限压力 |
全转速气体流量hPa l/s |
启动时间 |
重量 |
|||
|
进气口 |
排气口 |
氮气 |
氦气He |
氢气 H2 |
氮气 |
氮气N2 |
hPa |
氮气N2 |
min |
kg |
|
|
200 |
40 |
1,250 |
1,300 |
1,100 |
> 1X108 |
2 |
< 1X10–7 |
20 |
2.5 |
27 – 40 |
|
|
250 |
40 |
1,400 |
1,350 |
1,150 |
> 1X108 |
2 |
< 1X10–7 |
20 |
2.5 |
29 – 41 |
|
|
200 |
40 |
1,450 |
1,650 |
1,700 |
> 1X108 |
1.8 |
< 1X10–7 |
20 |
4 |
33 – 34 |
|
|
250 |
40 |
1,900 |
2,000 |
1,850 |
> 1X108 |
1.8 |
< 1X10–7 |
20 |
4 |
34 – 47 |
|
C = 抗腐蚀性气体
T = 温控管理
分子泵 HiPace 1200-2300 l/s 应用领域：
1. 分析仪器 2. 半导体 3. 镀膜 4. 工业 5. 研发
上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>
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