阿瑞斯-μVOC AMC空气分子污染物ppb级VOC监测系统
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人气：1731 发布时间：2020-11-12 10:22 关键词：AMC监测 AMC在线监测 AMC在线检测 空气分子污染物监测 ppb级VOC 洁净间AMC 半导体洁净室气体分析仪 产品型号：阿瑞斯-μVOC 应用领域：固废处置 产品价格：0 想了解更多产品详情，请 |
空气分子污染物 (AMC) 对于高科技生产过程是关键性因素，特别是微电子行业，有机污染物是生产过程中的消极因素，会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。
无空气分子污染物生产是理想的生产目标，通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。
阿瑞斯-μVOC提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案，不需要采样，离线测量。
检测限达到sub-ppb级
特点：
在线连续质量监测全部自动化系统
低浓度VOC监测
独立分开测量有机物成份
Sub-ppb检测限
集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能
应用：
洁净间污染物监测
过滤器状态监测
加工过程全组份测量诊断污染物
在新风空调箱（MUA）、高效过滤器（FFU）、生产机台上方SWIF下方安装化学过滤器，实际生产过程中过滤器的维护和更换，如果太早或者太迟都会引起产品成本的增加和效率的降低，甚至大的生产事故，停产。
带有16通道的 阿瑞斯-μVOC 系统可以监测过滤器的上下游空气分子污染物AMC浓度，当进来的气体不符合过滤标准时采样点位于进风系统上游；当吸收能力耗尽时采样点位于下游。
工作原理：
GC气相色谱是分离多种复杂混合物常用的技术，这种技术依赖于挥发性有机混合气体在色谱柱的多组份分离。当不同的挥发性有机物从色谱柱分离出来后通过氢气/空气火焰离子检测器探测电导率的变化，从而确定不同组份的浓度，独特的吹扫和载气系统可使仪器达到sub-ppb检测限。
