CS CLEAN SYSTEMS干式工艺废气处理
来源：CS CLEAN SYSTEMS 阅读：1500 更新时间：2010-09-30 11:40一般来说，晶片处理，太阳能和微机电（MEMS）工业所采用的绝大多数专业工序气体都是可自燃的，或有毒的，或有腐蚀性的。
CLEANSORB废气处理系统能够在室温下通过化学转换(化学吸收的)方式清除危险工艺气体，生成稳定的盐。 操作无需外部加热、加湿或其它设施。 因此，CLEANSORB系统为完全被动式，随时可使用，即使是在断电或其它设施无法使用的情况下。
CS CLEAN SYSTEMS的全球客户能够享受我们的本地服务，由我们负责把使用过的CLEANSORB吸收剂桶收集和重装填，该吸收剂桶是我们的专利产品，是经过联合国批准的可重复使用运输容器。
多种CLEANSORB型号尺寸可用于满足从小规模大学研究员到全天候晶片制造的不同客户的需求。
CLEANSORB Stand Alone系列
排气净化器
专为小型研究室设计的独立药桶，无需气柜和或监控设备。
CLEANSORB LABLINE系列
适用于研究室的排气净化器，
安装在小型柜子内的迷你 型CLEANSORB 干式吸收剂桶。 被动操作的LABLINE设备永远处于就位状态，不需要在每台新设备运行之前启动。 因此，它非常适用于无规律性的研发项目。 我们的产品具有更长的吸收时间，往往长达数年。
CLEANSORB BASE LINE系列
系列是一种不需要控制电子的智慧设计。它是一种手操作的坚固基本模型，为对成本敏感性高的应用方面的最佳选择
CLEANSORB SC 系列
单桶排气净化器
这是最适用于实验和大规模生产环境用的废气清除的标准设备。 其操作简单，操作员只需少许培训即可操作。 安装设施的供应要求极少， 几乎全面保修。
CLEANSORB DC 系列
双桶排气净化器
双桶("DC")的设计可带来无间断的运行： 在一桶被拆下重新装填时，另一桶可以继续操作使用， 使该系统保持着100%可靠性的记录，即使是在最严酷的工艺应用条件下也如此。 CS CLEAN SYSTEMS保证17000小时的MTBF。
