电子行业超纯水工艺方案
来源：北京海扬鸿业水处理设备有限公司 阅读：1364 更新时间：2009-04-28 11:10典型工艺流程
预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 （≥18MΩ.CM）
传统工艺流程
预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）
最新工艺流程
1、预处理→一级反渗透→加药机（PH调节）→中间水箱→第二级反渗透（正电荷反渗膜）→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥17MΩ.CM）
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水终端（≥15MΩ.CM）
处理后水质标准
经过高纯水除盐设备后，出水水质可以满足显像管、液晶显示器、 集成电路用水标准。 国家电子级纯水标准、 美国SEMI标准。
