有机废气净化工艺的选择及效果
更新时间：2010-09-25 10:10
来源：矿冶
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摘要：本文通过对半导体工业的有机废气净化工艺及设备的分析，总结了各种净化工艺特点和应用的范围。在扩建工程中选择了合理的净化工艺及设备。经过一年的生产验证，有机废气达到国家大气污染物排放标准，与现有废气处理设备相比，节省了投资、降低了运行成本，经济效果明显。
关键词：有机废气；碳吸附；比表面
1 引言
随着半导体集成电路生产规模扩大和技术升级，其在各行业发挥着越来越重要的作用。近几年，半导体工业迅猛发展，合资、独资建成投产十几条生产线。由于在集成电路生产过程要求在高洁净度厂房进行，但生产工艺中需要使用有机和无机化学药品，所以，通风排气对于生产十分重要。我国半导体工业起步较晚，所以相应的废气净化技术比较落后，一般在引进生产线的同时引进废气净化设施，投资及运行成本很高，如何消化吸收国外先进的废气净化工艺，选择合适的工艺保证稳定生产和达标，对于新建和改扩建废气处理系统非常重要。
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