几种芯片废水处理技术的探讨
更新时间：2012-04-11 17:22
来源：上海环境科学
作者:
阅读：2894
摘要：国内芯片制造业的飞速发展，芯片生产过程中产生的废水也是各企业所面临的一个问题。文章结合工程实例，简要介绍了芯片废水中污染物的分类及来源，着重探讨了含氨废水、含氟废水、研磨废水和酸碱废的处理工艺，以期为芯片废水处理的同仁提供参考。
关键词：芯片废水，处理工艺
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