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超精密半导体及TFT-LCD工厂用高精度测定/检测设备用振动隔绝装置
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对应载荷产生的压缩变形和剪切变形的最适化形状设计，使水平方向和竖直方向的刚度能很好的协调，是一款适用于超精密半导体和TFT-LCD生产工厂的主导产品。
