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中国国家电子级超纯水标准GB/T11446.1-1997

更新时间:2007-11-09 15:32 来源: 作者: 阅读:5331 网友评论0

 

附1中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997

  电阻率
25℃
MΩ*cm

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L
>1μm颗粒
≤个/ml
细菌
≤个/ml
硝酸根
≤g/L
磷酸根
≤μg/L
硫酸根
≤μg/L
TOC
≤μg/L
EW-I ≥18* 2 0.2 0.2 0.1 0.5 0.5 1 0.1 0.01 1 1 1 20
EW-II ≥15 ** 10 0 0 1 2 2 1 5 0.1 1 1 1 100

注*(95%时间不低于17),**(95% 时间不低于13)
 

中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准

 指标\级别  EW-Ⅰ  EW-Ⅱ EW-Ⅲ  EW-Ⅳ
电阻率 MΩ,cm(25℃) 18以上,(95%时间)不低于17 15,(95%时间)不低于13  12.0    0.5   
全硅,最大值,μg/L 2 10 50 1000
>1μm微粒数,最大值,个/mL 0.1 5 10 500
 细菌个数,最大值,个/mL 0.01 0.1 10 100
 铜,最大值,μg/L 0.2 1 2 500
 锌,最大值,μg/L 0.2 1 5 500
 镍,最大值,μg/L 0.1 1 2 500
 钠,最大值,μg/L 0.5 2 5 1000
 钾,最大值,μg/L 0.5 2 5 500
 氯,最大值,μg/L 1 1 10 1000
 硝酸根,最大值,μg/L 1 1 5 500
 磷酸根,最大值,μg/L 1 1 5 500
 硫酸根,最大值,μg/L 1 1 5 500
 总有机酸,最大值,μg/L 20 100 200 1000
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