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中国电子行业超纯水国家标准

更新时间：2007-10-26 10:12 来源： 作者: 阅读：2810 网友评论0条

 

指 标 名 称
一 级 水（EW-1）
二 级 水（EW-2）
　电阻率MΩ.CM. （25℃）
18(95‰时间)不低于17
15(95‰时间)不低于13
　　硅≤μg/L
2
10
　＞1μm　微粒数
0.1
5
　细菌个数≤/ml
0.01
0.1
　　铜　≤μg/L
0.2
1
　　锌　≤μg/L
0.2
1
　　镍≤μg/L
0.1
1
　　钠≤μg/L
0.5
2
　　钾　≤μg/L
0.5
2
　　氯≤μg/L
1
1
　硝酸根≤μg/L
1
1
　磷酸根≤μg/L
1
1
　硫酸根≤μg/L
1
1
　总有机碳≤μg/L
20
100

 

 

 

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